RGA100/200/300残余气体分析仪
    CIS100/200/300 封闭离子源残余气体分析仪

    100, 200和300 amu系统     优于1 amu的分辨率
    6个量级的动态范围               检测极限5x 10-14Torr
    实时RGA Windows软件          多检测头工作方式
    质谱, 泄漏检测和压力对时间方式   机柜式计算机系统