RGA100/200/300残余气体分析仪 CIS100/200/300 封闭离子源残余气体分析仪
100, 200和300 amu系统 优于1 amu的分辨率 6个量级的动态范围 检测极限5x 10-14Torr 实时RGA Windows软件 多检测头工作方式 质谱, 泄漏检测和压力对时间方式 机柜式计算机系统