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残余气体分析仪

残余气体分析仪

产品详情

残余气体分析仪

RGA100/200/300残余气体分析仪

100,200,300amu系统

好于1amu的分辨率

6个数量级的动态范围

5 × 10−14 Torr检测限

RGA Windows和Labview软件

现场可以更换电子 倍增管和灯丝

RS232和以太网接口

技术指标

质量范围

RGA100 1 to 100 amu

RGA200 1 to 200 amu

RGA300 1 to 300 amu

质量滤波器类型 Quadrupole

探测器类型 Faraday cup (FC), standard Electron multiplier (EM), optional

分辨率 Better than 0.5 amu @ 10 % peak (per AVS std. 2.3)  height.

Adjustable to constant peak

width throughout the mass range.

灵敏度 (A/Torr) 2 × 10–4 (FC), <200 (EM). User

adjustable throughout high voltage range. Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width,

10 % height, 70 eV electron energy, 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.

最小可探测差压 5 × 10–11 Torr (FC),

5 × 10–14 Torr (EM)

Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy, 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.

操作压力范围 10–4 Torr to UHV (FC)

10–6 Torr to UHV (EM)

操作温度           70 °C (max.)

烘烤温度 300 °C (without ECU)

CIS100/200/300残余气体分析仪

100,200,300amu系统

1ppm检测

10mTorr最大操作压强

1×10-12Torr检测极限

RGA Windows软件

现场可更换的电子倍增管和灯丝

技术指标

操作

质量范围

CIS100/1 1 to 100 amu

CIS200/1 1 to 200 amu

CIS300/1 1 to 300 amu

质量滤波器类型 Quadrupole

探测器类型 Faraday cup and electron multiplier Resolution Better than 0.5 amu @ 10 % peak (per AVS std. 2.3)         height. Adjustable to constant

peak width throughout mass range.

操作温度     70 °C (max.)

烘烤温度 300 °C (without ECU)

离子发生器

设计 Closed ion source, cylindrical sym- metry, electron impact ionization.

材料 Gold plated SS304

灯丝 Tungsten or ThO2/Ir with firmware protection (field replaceable)

电子能量 25 to 105 eV, programmable Ion energy 4 or 8 eV, programmable

聚集板电压 0 to 150 V, programmable Electron emission 0 to 1 mA, programmable

current


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